В.П. Савинов. Физика высокочастотного емкостного разряда

В монографии подробно описаны физический механизм высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР) низкого и среднего давления и свойства плазмы разряда. Исследованы основные свойства и характеристики ВЧЕР, особенности электрического пробоя в высокочастотном поле.

Издательство: Физматлит
Год: 2013
Формат: pdf
Страниц: 310
Язык: русский

 

Скачать книгу (102 МБ):